用于实现至高精度的测量机

XENOS可在各类要求高测量精度的领域使用——从科研机构的测量实验室、航空和航天工业直至光学工业。这一测量机的测量精度较高，其测量范围近1立方米。

虚拟驱动

XENOS于Y轴向配备双线性驱动系统，得益于蔡司的驱动技术可实现优异的同步控制。该技术可据X轴位置分布驱动力。作为控制系统及算法之结合，这是在整个测量范围内获得优异的测量精度及运动稳定性的关键因素

所有轴均采用线性驱动

XENOS的所有轴均采用线性驱动。其优点：高速、加速极快、定位精度高、驱动无剪切力影响。结合超高分辨率光栅尺技术，XENOS的线性驱动可获得高度稳定性及低于100纳米的定位精度。

机械设计的创新

XENOS采用了全新的机械设计理念。与标准桥式测量机不同：Y导轨分布于侧壁顶部，分离式移动行程轴仅横梁于Y轴方向移动，更小及恒定的移动重量——与移动式平台相比堪称真正的优势。更低及恒定的移动重量造就了加速及高速的统一。

电子设计改进

通过全新的电子电路的设计从而使电路对产品的测量精度明显提高，

通过计算机辅助精度修正法（caa）和特殊附加caa修正使的产品测量精度显著提高并在测量过程中扮演者作用日趋重要